Nano Fabrication Lab Sichere und saubere Bedingungen für Mikro und Nanofabrikation Das 2022 gegründete Nano Fabrication Lab (NF Lab) unter Leitung von Dr. Gerard Gadea bietet Forschenden von der Universität Basel und Firmen aus dem SNI-Netzwerk eine umfassende Infra- struktur für die Mikro- und Nanofabrikation – von der Struktu- rierung über die Materialabscheidung bis zur Prozesskontrolle. Die verfügbaren Anlagen ermöglichen lithografische Verfahren im Mikro- und Nanometerbereich, die Abscheidung dünner Schichten sowie nass- und trockenchemische Ätzprozesse. Er- gänzt wird das Angebot durch Einrichtungen zur Substrat- und Oberflächenvorbereitung sowie durch Methoden zur Charakte- risierung und Qualitätskontrolle der hergestellten Strukturen. Der umfangreiche Gerätepark sowie die beiden Reinräume des NF Labs werden vor allem von Studierenden im Masterstu- dium, Doktorierenden, Postdoktorierenden und einigen For- schenden von Firmen des SNI-Netzwerks genutzt. Das vierköpfige Team des NF Lab kümmert sich um die Ver- waltung der Instrumente und Infrastruktur, sodass geschulte Nutzer ihre Projekte selbstständig durchführen können. Zudem sorgt das NF Lab-Team dafür, dass alle Nutzer:innen ihre Arbeit sicher und effizient ausführen können – unabhängig von der Vielfalt der Projekte. Zu den Aufgaben gehören die Schulung an den verschiedenen Instrumenten, die Beschaffung, Installation, Wartung und Reparatur von Geräten sowie die Bereitstellung von Verbrauchsmaterialien und die Überwachung der Einhaltung von Sicherheits- und Reinheitsauflagen. Um die Bedingungen in den Reinräumen weiter zu verbessern, hat das Team 2025 neue Richtlinien für die Verwendung von Kleidung und Materialien eingeführt – damit die Arbeit für alle Beteiligten sicherer, effizi- enter und sauberer wird. Erweiterung des Geräteparks Dem Leiter des NF Labs Gerard Gadea ist es zudem ein Anliegen die Ausstattung kontinuierlich zu verbessern und den Anfor- «Im Nano Fabrication Lab stellen wir unsere nano skaligen Geräte her, mit denen wir Quanteneffekte bei Temperaturen nahe dem Nullpunkt messen.» Prof. Dr. Andrea Hofmann, Departement Physik, Universität Basel Xavier Wildermuth, Juri Herzog, Arnold Lü- cke und Gerard Gadea (von links nach rechts) ermöglichen durch Betreuung, Schulungen und technische Unterstützung den Zugang zu modernsten Fertigungstechnologien im Nano Fabrication Lab. «Wir verwenden die neue Elektronenstrahl Lithografie Maschine (EBPG) des NF Labs, um elektrische Gates innerhalb von 10 nm zu halb leitenden Nanodrähten her zustellen, um Quantenbits zu bilden, mit einer Präzision und Reproduzierbarkeit, die mit den älteren Maschinen nicht möglich war.» Dr. Andreas Baumgartner, Departement Physik, Universität Basel 57 SNIJahresbericht 2025